【zoty中欧体育官方网站-zoty中欧体育官方网站-行业新闻，作者：编辑】 近日，坐落于杭州城西科创大走廊浙大成果转化基地的全国首台国产商业电子束光刻机 “羲之”，已进入应用测试阶段，其精度达到 0.6 纳米，比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发有了 “中国刻刀”。 与常用的 EUV 光刻机不同，“羲之” 以高能电子束为 “笔”，直接在硅基芯片上 “手写” 电路图案，无需掩膜版，如同艺术家精雕细琢;而 EUV 光刻机则利用极紫外光，通过掩膜版投影，像工业流水线般实现整片晶圆的快速曝光。 性能方面，“羲之” 精度达 0.6 纳米，线宽 8 纳米，远超 EUV 主流设备，但每加工一片晶圆需耗费数小时，效率远低于 EUV 光刻机每小时上百片的产出。 应用场景上，“羲之” 专注于高精度、小批量需求，如量子芯片原型、先进封装等，能大幅缩短国内企业和机构的芯片研发迭代周期，且设备价格比国际同行低 30%，还省去掩膜版成本;EUV 光刻机则擅长 CPU、存储芯片等大规模消费产品制造。 长期以来，欧美垄断高端光刻设备，“羲之” 的诞生打破了这一局面，为我国半导体研发提供自主可控的关键装备，助力从实验室到市场的转化。未来，随着多电子束技术发展，国产设备在先进封装领域份额有望进一步提升，推动新能源车、AI 芯片等行业发展。 免责声明： 家电资讯网站对《国产“羲之”光刻机诞生，0.6纳米精度比肩国际》一文中所陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。 本网站有部分内容均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，本网站无法鉴别所上传图片或文字的知识版权，本站所转载图片、文字不涉及任何商业性质，如果侵犯，请及时通知我们，本网站将在第一时间及时删除，不承担任何侵权责任。联系QQ：411954607 本网认为，一切网民在进入家电资讯网站主页及各层页面时已经仔细看过本条款并完全同意。敬请谅解。
